Кварцовий вимірювач товщини КІТ

Кварцовий вимірювач товщини плівки (КІТ) успішно застосовується для контролю товщини напилюваних у вакуумі багатошарових плівкових структур.

Прилад призначений для контролю
товщини плівок у процесах напилення багатошарових плівкових структур.

Для організації контролю товщини плівок в автономному режимі необхідно занести в пам'ять параметри матеріалів і шарів і запрограмувати формулу плівкової структури (вказати послідовність шарів, що напилюються). Результати вимірювань відображаються на РКІ індикаторі, прилад реагує на натискання клавіатури, зовнішній дискретний сигнал запуску. При досягненні необхідної товщини шару виробляється сигнал зупинки, який може застосовуватися для автоматичного закриття заслінок, відключення живлення розпилювальних пристроїв тощо.

При роботі в складі з АСУ дані про частоті кварцового датчика передаються по інтерфейсу RS-232 або RS-485.

Технічні характеристики:

Роздільна здатність за частотою, Гц............................ 1
Роздільна здатність по товщині на Ta2O5, нм............... 0.1
Період вимірювання, з....................................................... 1
Діапазон вимірюваних частот, МГц.... ................................. від 4 до 10
Кількість матеріалів (одночасно програмованих) .... 10
Кількість шарів (одночасно програмованих) ............ 10
Кількість плівок (одночасно програмованих) ............ 3
Сигнал зовнішнього запуску, В............................................. від 5 до 12
Сигнал зупинки............................................................ «сухий контакт»
Напруга живлення, В................................................... 220
Частота живильної мережі, Гц............................................. 50
Споживана потужність, Вт............................................. 6
Габаритні розміри приладу, мм..................................... 110х130х260,
19», 3U згідно МЕК 297
Ізоляція по сигнальним шин, В.................................... 2500
Інтерфейс зв'язку з зовнішніми пристроями........................ RS232
Діапазон робочих температур, °С....................................... від 0 до 50
Відносна вологість при температурі 20о С не більше, % 85...
Атмосферний тиск, кПа............................................. 84÷106