Приставка іонно-променевого травлення ІЛТ-8-200

Приставка призначена для здійснення операцій, пов'язаних з розпиленням і травленням матеріалів у вакуумі ионнным пучком.

Приставка призначена для встановлення та експлуатації на приладі вакуумного універсального посту ВУП-5М (ВУП-5), ВН-2000 та інших вакуумних установок.

2.2 Приставка призначена для здійснення операцій, пов'язаних з розпилюванням та травленням матеріалів у вакуумі йонним пучком з метою дослідження отриманих поверхонь та матеріалів (методами растрової та просвічує електронної мікроскопії та іншими).

2.3 Приставка може бути використана в лабораторіях при дослідженнях з фізики твердого тіла, мікроелектроніці для отримання нових матеріалів, а також застосовна при виконанні окремих технологічних операцій.

2.4 Приставка призначена для експлуатації в стаціонарних умовах за температури навколишнього повітря від 15 до 25ºС та відносної вологості не більше 80%. Приставка відноситься до виконання УХЛ категорії 4.2 за ГОСТ 15180-69.

3 ТЕХНІЧНІ ДАНІ
3.1 Основні параметри і характеристики
3.1.1 Діапазон робочого тиску в об'ємі при роботі приставки від 6,0•10-5 до 8•10-4 мм. рт. ст.
3.1.2 Електричне живлення приставки здійснюється від мережі змінного струму напругою 220 В частотою 50 Гц.
3.1.3 Споживана потужність не більш 600 Вт.
3.1.4 Маса 60 кг
3.1.5 Габаритні розміри, мм, не більше:
робочий об'єм внутрішній діаметр — 230
висота — 250
висота з встановленим
джерелом (зверху) — 500
модуль джерел живлення довжина — 500

ширина — 520

висота — 180

3.1.6 Внутрішній об'єм високовакуумного обсягу приставки 12 л.
3.1.7 Максимальна напруга на виході високовольтного блоку живлення анода не більше 8 кВ.
3.1.8 Максимальна напруга на виході високовольтного блоку живлення фокусуючого не більше 8 кВ.
3.1.9 Напруга блоку живлення розряду не менше 800В.
3.1.10 Розрядний струм іонних гармат (50 ± 3) мА.
3.1.11 Іонний струм на зразку від 30 до 600 мкА.
3.1.12 Максимальна напруга на п'єзонаткач 1450 В.