Растровий електронний мікроскоп РЕМ-106

Призначений для дослідження рельєфу поверхні об'єктів в твердій фазі та визначення кількісного і якісного елементного складу об'єктів

МІКРОСКОП
РАСТРОВИЙ
ЕЛЕКТРОННИЙ
З КАМЕРОЮ НИЗЬКОГО ВАКУУМУ
РЕМ-106

Призначений для дослідження рельєфу поверхні об'єктів в твердій фазі та визначення кількісного і якісного елементного складу об'єктів методом рентгенівського мікроаналізу за енергій квантів характеристичного рентгенівського випромінювання в двох режимах: високого вакууму і низького вакууму в камері об'єктів.
Мікроскоп забезпечує одержання зображення поверхні об'єкта у вторинних і відбитих електронах в режимі високого вакууму, зображення у відбитих електронах в режимі низького регульованого вакууму, рентгенівський експрес-аналіз за допомогою спектрометра енергетичної дисперсії. Мікроскоп забезпечує дослідження непровідних об'єктів без спеціальної пробопідготовки.

Відмітна особливість РЕМ-106 — високоякісне електронно-оптичне зображення поверхні провідних і діелектричних об'єктів: напівпровідників, виробів електроніки, кераміки, полімерів, скла, дерева, фарб та інших — без спеціального приготування в режимах вторинних і відбитих електронів. Мікроскоп забезпечує дослідження в режимах високого і регульованого низького вакууму.

ОБЛАСТІ ЗАСТОСУВАННЯ РЕМ-106:
Матеріалознавство і металознавство
— створення нових матеріалів із заданими властивостями, вивчення їх розломів, дефектів у мікроструктурі, вивчення мікроструктури;
— прогнозування міцності та експлуатаційних характеристик металів та сплавів, визначення зв'язку між властивостями речовини і особливостями його складу;
— вивчення і створення матеріалів в області надпровідності.
Металургія
— визначення властивостей і характеристик сплавів, сертифікація матеріалів;
— дослідження властивостей матеріалів порошкової металургії у процесі їх виробництва.
Атомна промисловість і енергетика
— дослідження конструкційних матеріалів атомних реакторів;
— дослідження екологічних впливів атомної промисловості на навколишнє середовище;
— створення нових видів палива.
Авіабудування
— створення жароміцних матеріалів, дослідження процесів зношування лопатей турбін авіадвигунів та їх захищають покриттів.
Фізика твердого тіла
— вивчення характеристик твердого тіла, розробка склокераміки;
— фізика отримання тонких плівок;
— створення та дослідження без напилень метало-керамічних з'єднань, матеріалів світловолоконного оптики, матеріалів паперовій, промислово-сті.
Мікроелектроніка
— діагностика відмов виробів мікроелектроніки на різних етапах виготовлення безпосередньо в технологічному процесі, оптимізація технологічний процес-сов;
— розробка і створення надвеликих інтегральних мікросхем (НВІС);
— высоколокальный і всебічний аналіз електрофізичних, фізико-хімічних характеристик напівпровідникових виробів;
— вивчення дефектів изопланарной структури НВІС, якості діелектричних покриттів і провідних доріжок.
Хімічна промисловість
— створення нових матеріалів, полімерів, фарб і їх вивчення без напилення;
— контроль якості при виготовленні мінеральних добрив, хімічних во-локон, пластмас.
Геологія
— вивчення топографії та контрасту мінералів по атомному номеру;
— виявлення кристалічних структур в природних рудах;
— дослідження хімічного складу руд корисних копалин;
— визначення структур і властивостей мінералів.
Біологія та медицина
— визначення якісного та кількісного складу крові, клітин, кісток;
— вивчення поверхні окремих органів, клітин;
— вивчення органів та їх частин у живих організмах (нервові вузли, шкірний та волосяний покрив та ін. );
— вивчення вірусів;
— вивчення питань спадковості, вирішення проблем СНІДу.

Текстильна та харчова промисловість - Дослідження полімерних волокон, паперу, тканини, волокон; - аналіз складу та якості матеріалів харчової промисловості.

ТЕХНІЧНІ ПАРАМЕТРИ ТА ХАРАКТЕРИСТИКИ

Найменування параметра Величина
Дозвіл, нм: в режимі високого вакууму (ВЕ),
в режимі низького вакууму (ОЕ) 4
6
Діапазон регулювання тиску в камері в Н/В режимі, Па 1-270
Діапазон регулювання прискорюючої напруги, кВ 0,2-30
Діапазон регулювання збільшень, крат 15-300000
Діапазон аналізованих елементів:
 в режимі високого вакууму,
 в режимі низького вакууму
5B – 92U
12Mg – 92U
Дозвіл ЕРС, ев 143