Растровий (скануючий) електронний мікроскоп РЕМ-106И

Призначення: - вимірювання лінійних розмірів елементів топології і параметрів микрорелье-фа поверхні різних об'єктів в твердій фазі

РАСТРОВИЙ ЕЛЕКТРОННИЙ МІКРОСКОП
З СИСТЕМОЮ ЕНЕРГОДИСПЕРСІЙНОГО АНАЛІЗУ
І КАМЕРОЮ НИЗЬКОГО ВАКУУМУ
РЕМ-106И
Призначення: – вимірювання лінійних розмірів елементів топології і параметрів микрорелье-фа поверхні різних об'єктів в твердій фазі
– вимірювання масової частки елементів у складі об'єктів методом рентгенівського микроаналіза.
– дослідження рельєфу поверхні різних об'єктів в твердій фазі та визначення еле-ментного складу об'єктів методом рентгенівського мікроаналізу за енергій квантів характеристичного рентгенівського випромінювання двох режимах: високого вакууму і низького вакуума.
Конструктивні особливості приладу:
– високоякісне зображення поверхні провідних і діелектричних об'єктів без спеціального приготування в режимах вторинних і відбитих електронів;
– швидкий і точний якісний і кількісний мікроаналіз системою енергетичної дисперсії високого дозволу;
– конструкція вакуумної системи, що забезпечує два робочих режиму вакууму в камері об'єктів: високовакуумний (класичний РЕМ) і низковакуумный регульований – для дослідження діелектричних об'єктів;
– новий високоефективний детектор ОЕ типу сцинтилятор – ФЕУ;
– оригінальна об'єктивна лінза з розділовими діафрагмами для диференціальної відкачування камери об'єктів і електронної гармати;
– комплексне автоматичне керування всіма режимами і системами мікроскопа.

ТЕХНІЧНІ ПАРАМЕТРИ І ХАРАКТЕРИСТИКИ

Найменування параметра Значення
Дозвіл, нм: в режимі високого вакууму (ВЕ),
в режимі низького вакууму (ОЕ) 4
6
Діапазон регулювання тиску в камері в низковакуумном режимі, Па 1-270
Діапазон регулювання прискорюючої напруги, кВ 0,5-30
Діапазон регулювання збільшень, крат 15-300000
Діапазон вимірювань лінійних розмірів, мкм 0,2 – 5000
Межі допустимої основної похибки вимірювань лінійних розмі-рів не більше:
а) у діапазоні від 0,2 мкм до 0,8 мкм  40 нм
б) у діапазоні понад 0,8 мкм до 5000 мкм  4%
Максимальний розмір об'єкта, мм 50

Діапазон переміщень об'єкта, мм: по координатах X, Y,
по координаті Z,
нахил, градусів,
обертання, градусів ± 25
60
-20 ÷ 60
360
Діапазон аналізованих елементів: у режимі високого вакууму, в режимі низького вакууму 5B – 92U
12Mg – 92U
Межі допустимої відносної похибки вимірювань масової долі елемента в діапазоні від 6С до 92U у складі масивних зразків, не більше:

а) для елементів з діапазоном масової частки більше 10 % ± 4 %
б) для елементів з діапазоном масової частки більше 1 % до 10 % ± 20 %
в) для елементів з діапазоном масової частки від 0,1 % до 1 % ± 50 %
Дозвіл ЕРС, ев 143
Споживана потужність, кВА 2,5

Застосування РЕМ-106И в атомній промисловості та енергетиці:
– дослідження конструкційних матеріалів атомних реакторів; вивчення їх розломів, дефек-тів у мікроструктурі без попередньої підготовки;
– дослідження без напилення метало-керамічних з'єднань, ізоляційних та інших не-провідних матеріалів;
– прогнозування міцності та експлуатаційних характеристик матеріалів;
– дослідження екологічних впливів атомної промисловості на навколишнє середовище;
– створення нових видів палива.