Установка фізичного осадження матеріалів із парової фази ВН-2000М (PCVD)

Установка фізичного осадження матеріалів із парової фази ВН-2000М (PCVD) розроблена відповідно до Технічного завдання замовника та призначена для осадження таких матеріалів:

• діелектрики SiO2, SiNx, SiOxNy;
• напівпровідникові матеріали SiC, a-Si, VO₂

Комплект постачання.

1. Система реєстрації вакууму
2. Нагрівач тримача об'єктів
3. Магнетрони
4. Джерело живлення постійного струму для магнетронів
5. Система керування
6. Кварцовий вимірювач товщини напиленого шару
7. Джерело живлення змінного струму для магнетронів
8. Система подавання робочих газів, можливість подавання, одночасно, двох робочих газів заданої пропорції: - газові витратоміри; - ємність для попереднього змішування поданих газів; - блок керування витратоюомірами; - індикатор вакууму перетворювачем (реалізація точного контролю тиску робочих газів у робочій зоні магнетронів)

1. Система вакуумного відкачування містить:  — високовакуумний насос Турбо PFEIFFER DN 250 1900 L/S; - форвакуумний насос; - високовакуумний шибер.

1. Затвор вакуумний (для дроселювання системи відкачування для стабілізації тиску та економії робочих газів).
2. Насос попереднього вакууму
3. Електрична стійка для розміщення джерел живлення й блоків керування містить:  - блок живлення турбомолекулярного насоса; - блок ВЧ-живлення; -  блок вимірювальний;  - блок вимірювання вакууму;  - панель увімкнення системи охолодження (чилер або  водяний насос як додаткова опція);  — блок керування витратами (тип MKS або РРГ).

Технічні характеристики.

1   Нагрівач тримача об'єктів     -     до 300 град. З

2   Магнетрони, діаметр мішені — 40 мм.

3   Систем вакуумного відкачування містить: - високовакуумний насос Турбо PFEIFFER DN 250 1900 L/S (Стандарт під'єднання:    Зовнішній — DN 250 CF-F, Внутрішній — DN 40 ISO-KF; Напуску G 1/8” ;  Номінальна швидкість обертання   -  525 (31500) Гц (1/хв);  швидкість обертання в режимі очікування  -   350 (21000) Гц (1/хв);  Шум   47 Дб;  Остаточний тиск (зворотний тиск)   < 0.2 мбар;    маса  - 39 кг);

- форвакуумний насос продуктивністю, не менш ніж 8 л/сек,

- високовакуумний шибер   з прохідний отвором, не менш ніж  Ду 100 і можливістю регулювання дросельуванням у процесі напилення.

4    Насос попереднього вакууму     -  до 16л/с