Растровий електронний мікроскоп РЕМ-108

ЗВАРЮВАЛЬНА ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВА УСТАНОВКА В ПОЄДНАННІ З РАСТРОВИМ ЕЛЕКТРОННИМ МІКРОСКОПОМ РЕМ-108

Зварювальна електронно-променева установка в поєднанні з растровим електронним мікроскопом РЕМ-108 призначена для зварювання малогабаритних деталей електронним променем, перегляду топографії поверхні зварюваних деталей і зварного шва в растровому режимі у вторинних і відбитих електронах, наведення на стик зварюваних деталей, вимірювань лінійних розмірів зварного шва і елементів топології поверхні зварюваних деталей.

ОСОБЛИВОСТІ ПРИЛАДУ

• Процес зварювання повністю автоматизований
• Управління зварювальним процесом здійснюється за допомогою промислового комп'ютера, можливо управління процесом зварювання від дистанційного комп'ютера
• Є шлюзове пристрій для завантаження зварюваних деталей
• Режим зварювання задається оператором
• Перегляд зварного шва здійснюється з допомогою растрового режиму установки у вторинних і відбитих електронах
• 5-ти координатний маніпулятор
• Система відкачування: один форвакуумний і два турбомолекулярних насосів
• Типи катодів: Vобразний вольфрамовий, LaB₆ ― таблетка
• Електронно-оптична система: електронна гармата, два електромагнітних лінзи, відхиляючі і коригувальні системи
• Програмне забезпечення WINDOWS-XP.

ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Потужність електронного променя на об'єкті, Вт, не більше                               500

Щільність потужності на об'єкті в режимі зварювання, Вт/см² 5,6×10⁶

Мінімальний діаметр електронного променя в режимі зварювання, 60 мкм

Діапазон прискорювальних напруг, кВ від 30 до 50

Діапазон регулювання струму зонда, А від 10^-4 до 10^-2

Роздільна здатність в режимі РЕМ, нм, не більше 1000

Діапазон збільшень, крат від 40 до 1000

Діапазон вимірювань лінійних розмірів, мкм 1 – 5000

Маніпулятор:

• Максимальний розмір об'єкта, мм 100х100х40
• Діапазон переміщень:

- по координатах X, Y, мм ±50

- по координаті Z, мм 40

- нахил, град. -590

- обертання, град. 360