Вакуумна система контролю вологи і відхідних газів ВС-1Л

Вакуумна система ВС-1Л призначена для відкачування, обезгаження і термостатування вакуумної камери, відкачування та напуску газової проби в мас-спектрометр, контроль відхідних газів і вологи мікросхем в вакуумному середовищі методом мас-спектрометричного аналізу.

ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Вакуумна система ВС-1Л складається і забезпечує:
1. Робочий об'єм в складі:
— вакуумна камера (обсяг не більше 1 л, матеріал — нержавіюча сталь; максимальний вакуум не більше 4x106 Ра);
— система прогріву і термостатування з датчиками температури (температура прогрівання камери не менше + 125°С, що термостатується температура +25°С ± 3°С);
— датчики контролю вакууму (форвакуумные — ПМТ-6-ЗМ; високовакуумні — ПММ-32-1 і ПМИ-2);
— ілюмінатор з зовнішньої підсвічуванням;
— механізм свердління мікросхеми;
2. Система високовакуумного відкачування на базі турбомолекулярних насосів (ТМН), що забезпечує необхідний ступінь вакууму в робочому обсязі.

3. Набір електромагнітних клапанів.

4. Форвакуумні насоси, що забезпечують попередній вакуум для запуску ТМН.

5. П'езоклапан двоканальної системи напуску газів (канал 1 - відбір проби в аналізатор, клапан 2 - напуск азоту в робочий об'єм), діапазон напуску 1x10"6 Ра до 1 Ра.

6. Блок управління системою напуску газів (живлення 220В, вихідна напруга трохи більше 1,5 кВ).

7. Вакуумний затвор (тип приводу – ручний).

8. Блок живлення прогріву і термостатування (живлення 220В з регулюванням вихідного струму).
9. Блок управління системою вакуумної відкачки з блоками живлення ВМП (блоки живлення ТМН, блоки живлення електромагнітних клапанів з напругою форсування, не більше, 40В і напругою утримання не більше 6В).
10. Блок вакуумметрів високого і низького вакууму (діапазон вимірювання вакууму від 1x107 Ра до 1х105 Ра).
11. Комплект вакуумних та електричних комунікацій.

5. СКЛАД ВАКУУМНОЇ СИСТЕМИ НД-1Л.

 Вакуумна система ВС-1Л виконана у вигляді єдиної стійки. У верхній частині стійки розташовані - аналітичні вузли та конструкції, у нижній - блоки управління та живлення. Аналітичні вузли та конструкції включають:

      - два механічні клапани: клапан V5

- відбір проби в аналізатор, клапан V1

-напуск азоту у вакуумну камеру, діапазон напуску 1x10-6 Ра до 1 Ра,

- система відкачування вакуумної камери на базі: турбомолекулярного насоса (ТМН), форвакуумного насоса (забезпечує попередній вакуум для запуску ТМН), арматури вакуумних комунікацій, клапанів,

- система нагрівання вакуумної камери з електричним нагрівачем, потужністю 0,6 кВт, що забезпечують нагрівання до температури 1250С,

- система відкачування мас-спектрометра на базі: високовакуумний магніторозрядний насос НМД-0,16 та сорбційних форвакуумних насосів для НМД.

Блоки управління та живлення  включають:

- блок управління для регулювання режимів роботи та контролю технічних параметрів системи керування , що забезпечує контроль терморегулятором температур РТК-02, управління електроживленням вакуумної системи НД-1Л,

- блок вакуумметрів високого і низького вакууму (діапазон вимірювання вакууму від 1x10⁷ Ра до 1х10⁵ Ра).

- блок управління мас-спектрометром МХ,

- блок живлення ТМН,

- блок живлення НМД,

- форвакуумний насос 2НВР-5ДМ.