Установка фізичного осадження матеріалів із парової фази ВН-2000М (PCVD)
Ціну уточнюйте
- Під замовлення
- +380 (66) 063-21-12менеджер
Установка фізичного осадження матеріалів із парової фази ВН-2000М (PCVD) розроблена відповідно до Технічного завдання замовника та призначена для осадження таких матеріалів:
- діелектрики SiO2, SiNx, SiOxNy;
- напівпровідникові матеріали SiC, a-Si, VO2
Комплект постачання.
- Система реєстрації вакууму
- Нагрівач тримача об'єктів
- Магнетрони
- Джерело живлення постійного струму для магнетронів
- Система керування
- Кварцовий вимірювач товщини напиленого шару
- Джерело живлення змінного струму для магнетронів
- Система подавання робочих газів, можливість подавання, одночасно, двох робочих газів заданої пропорції: - газові витратоміри; - ємність для попереднього змішування поданих газів; - блок керування витратоюомірами; - індикатор вакууму перетворювачем (реалізація точного контролю тиску робочих газів у робочій зоні магнетронів)
- Система вакуумного відкачування містить: — високовакуумний насос Турбо PFEIFFER DN 250 1900 L/S; - форвакуумний насос; - високовакуумний шибер.
- Затвор вакуумний (для дроселювання системи відкачування для стабілізації тиску та економії робочих газів).
- Насос попереднього вакууму
- Електрична стійка для розміщення джерел живлення й блоків керування містить: - блок живлення турбомолекулярного насоса; - блок ВЧ-живлення; - блок вимірювальний; - блок вимірювання вакууму; - панель увімкнення системи охолодження (чилер або водяний насос як додаткова опція); — блок керування витратами (тип MKS або РРГ).
Технічні характеристики.
1 Нагрівач тримача об'єктів - до 300 град. З
2 Магнетрони, діаметр мішені — 40 мм.
3 Систем вакуумного відкачування містить: - високовакуумний насос Турбо PFEIFFER DN 250 1900 L/S (Стандарт під'єднання: Зовнішній — DN 250 CF-F, Внутрішній — DN 40 ISO-KF; Напуску G 1/8” ; Номінальна швидкість обертання - 525 (31500) Гц (1/хв); швидкість обертання в режимі очікування - 350 (21000) Гц (1/хв); Шум 47 Дб; Остаточний тиск (зворотний тиск) < 0.2 мбар; маса - 39 кг);
- форвакуумний насос продуктивністю, не менш ніж 8 л/сек,
- високовакуумний шибер з прохідний отвором, не менш ніж Ду 100 і можливістю регулювання дросельуванням у процесі напилення.
4 Насос попереднього вакууму - до 16л/с
- Ціна: Ціну уточнюйте